優(yōu)勢(shì):

(1)溫度穩(wěn)定性好。電容傳感器的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān)。這樣有利于低溫系統(tǒng)材料的選擇，并且產(chǎn)生的熱量很小，對(duì)穩(wěn)定性影響很小。電阻傳感器有電阻，通電后會(huì)發(fā)熱。電感式傳感器有銅損耗、磁通損耗、渦流損耗等，熱漂趨于零。

(2)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。該電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造，易于保證高精度，并可做小尺寸的特殊測(cè)量。它能在高溫、強(qiáng)車船、強(qiáng)磁場(chǎng)等惡劣環(huán)境中發(fā)揮作用，并能承受更高的溫度?？沙惺艽蟮臏囟茸兓⒏唠妷?、高沖擊過(guò)載等?？梢詼y(cè)量超高溫、低壓損失，也可以測(cè)量磁功。

(3)動(dòng)態(tài)響應(yīng)良好。由于帶電電極板之間的靜電吸引力很低(約105N)，電容式傳感器需要很少的能量，可以使運(yùn)動(dòng)部件非常小和薄，這意味著它非常輕，因此非常重。它具有較高的固有頻率，較短的動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間，工作頻率可達(dá)數(shù)兆赫，特別適用于動(dòng)態(tài)測(cè)量。此外，低介質(zhì)損耗允許功率以更高的頻率傳輸，從而在系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)更高的工作頻率。它可以用來(lái)測(cè)量快速變化的參數(shù)。

(4)非接觸式測(cè)量，效果平均。例如，旋轉(zhuǎn)軸振動(dòng)和偏心量的非接觸測(cè)量，小球軸承的徑向游隙等。采用非接觸式測(cè)量時(shí)，電容傳感器具有平均功能，可以減少工作表面粗糙度對(duì)測(cè)量的影響。除了上述優(yōu)點(diǎn)外，電容式傳感器還具有極微小的極板間靜電引力，因此輸入和輸入能量都很小，因此可以測(cè)量非常低的壓力、非常小的加速度、位移等。它非常敏感，分辨率高，對(duì)001m或更小的位移敏感。由于低介電損耗(如空氣)，連接橋式差動(dòng)結(jié)構(gòu)時(shí)產(chǎn)生的零殘留非常小，電路可被高度放大。提高設(shè)備的靈敏度。